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              光學3D表面輪廓儀&共聚焦顯微鏡:助力半導體行業走向新質生產力時代

              更新時間:2024-03-27      點擊次數:134

              新質生產力不僅僅是生產效率和成本控制的提升,更重要的是通過創新和技術升級,從而實現生產過程智能化、個性化、和高質量化。傳統的生產模式正在被改變,而半導體行業作為高科技產業的代表之一,更是迫切需要適應這一變革。


              隨著半導體技術的不斷發展和智能制造的推動,半導體制造過程中,對尺寸、形狀和表面質量的檢測至關重要。而顯微測量儀的高精度、高分辨率的測量能力,為半導體行業提供了強大的支持。

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              SuperViewW光學3D表面輪廓儀結合機械制造、計算機技術、圖像出處理技術,以非接觸的掃描方式,實現針對樣品表面的高重復精度的3D測量,獲取樣品表面質量的2D、3D數據。

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              儀器集合PSI高精度&VSI大范圍雙重優點的EPSI掃描算法,從0.1nm級別的超光滑表面到數十微米級別的粗糙表面,都能實現高精度測量。此外具有的同步分析與預編程分析功能,實現了分析過程的所見即所得,測量到分析的一鍵式操作,有效縮減操作步驟。


              VT6000共聚焦顯微鏡以針孔共聚焦技術為原理,結合高穩定性結構設計和優異的3D重建算法,可對各種精密器件及材料表面進行微納米級粗糙度、微觀幾何輪廓等的測量。在半導體制造及封裝工藝檢測中,對大傾角產品有更好的成像效果。

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              在芯片制造的各個環節,顯微測量儀用于檢測半導體芯片和晶圓的尺寸和形狀,提供準確的尺寸測量,滿足半導體制造過程中對尺寸、形狀和表面質量更嚴格的要求,幫助制造商及時發現和糾正任何偏差;在表面質量的評估和缺陷檢測方面,顯微測量儀可以檢測微小的表面缺陷和污染,確保產品的表面質量達到標準要求,提高產品的可靠性和穩定性。


              我們有理由相信,在新技術和新思維的推動下,顯微測量儀將使半導體行業邁向更加智能化、高效化和可持續化的未來。

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